一、ICP機器保守の目的：
1）計器の故障を適時に発見する、
2）機器の隠れた危険性を排除し、適時に発見し、予防措置を提出する、
3）機器のメンテナンスを通じて、機器の感度を高め、機器の使用寿命を延長する、
4）機器の安定性を高め、テストデータの正確性を保証する、
二、ICP機器のメンテナンスの内容：
1）すべての回路基板、ファン、機器表面のほこりを取り除く
2）霧化器、霧化室、採光錐とトーチ管の洗浄
3）冷却循環水の交換、配管の清掃
4）真空管継手、電磁弁スイッチのシール性検査ビームスリット位置の調整
5）真空ポンプ性能検査、ポンプ油交換、シールリング、モレキュラーシーブ
6）ガスボンベからICP間に空気漏れがないことを検査し、回路合格性を確定する
7）計器ガス、助ガスセンサを検査し、洗浄する
8）RF高周波発生器除塵メンテナンス、真空光室メンテナンス
9）ユーザーの操作上の問題への回答